2024년 8월 28일

미네베아미츠미 그룹의 일원인 미츠미 전기
±392kPa의 압력 범위를 높은 정확도(±1%FS)로 측정 가능
초소형, 저전력 디지털 출력 압력 센서 'MMR920 시리즈' 출시

미네베아미츠미그룹 계열사인 미츠미전기주식회사(이하 미츠미전기)는 최근 ±392kPa의 압력범위를 ±1%FS의 정확도로 측정할 수 있는 초소형, 저전력 디지털 출력 압력센서 'MMR920 시리즈'를 '시각화'를 주제로 신제품으로 출시했다 실내 장비의 압력"

MMR920 시리즈는 새로운 MEMS 구조를 이용해 내부 MEMS 칩의 감도를 높인 센서로, 24비트 ⊿Σ ADC를 탑재해 높은 유효 분해능으로 정확한 압력 측정이 가능하다 에어컨, 에어컨, 환기팬 등의 필터가 막혀 발생하는 내부 압력 변화는 물론, 의료기기 등에서 배출되는 공기로 인한 미세한 압력 변화도 감지할 수 있습니다
이 센서는 7mm☐ 크기의 소형 표면 실장형 패키지이지만 뒷면에 압력을 받고 습기와 먼지에 강한 새로운 패키지 구조를 가지고 있습니다 세트 사이드 보드의 소형화 및 설계 공수 단축에 기여하여 공조 장비 및 의료 장비를 더욱 컴팩트하게 만듭니다

기능/개요

• ① 감도를 높이는 새로운 MEMS 구조를 채택합니다 피에조 소자에 응력을 집중시키는 구조를 채택하여 기존 바카라사이트 신고(MS901)에 비해 약 459배의 감도를 달성했습니다
• ② 기존 소형 표면 실장 패키지에서는 구현하기 어려웠던 MEMS 칩 후면에서 압력을 받는 구조를 특허 기술을 사용하여 구현했습니다 노즐로부터의 수분 및 이물질 침입에 대한 저항성을 확보하면서 소형화를 실현했습니다
• 3 고성능 24bit⊿ΣAFE를 내장하여 고속 응답과 고해상도(저소음)를 양립한 센서를 실현했습니다
• 4 센서 편차 및 온도 특성은 출하 시 수정되므로 복잡한 센서 구동/제어 회로/수정이 필요하지 않습니다

*특허됨(특허번호 7352076, 특허번호 7323810)

새로운 MEMS 구조

새로운 패키지 구조

주요 용도

에어컨 장비, 에어컨, 환기팬
CPAP 및 호흡 보조 기계와 같은 의료 장비
전자 관악기 등

바카라사이트 신고 사진

바카라사이트 신고 사양

패키지: MEMS-12B
외부 치수: 70×70×72(W×D×H) mm

MMR920 생산 계획

바카라사이트 신고 관련 문의	미네베아미츠미 주식회사 반도체전자사업본부 반도체사업부 전략기술부 전화: 046-230-3470 (부서대표) 바카라사이트 신고 사이트 문의양식
언론 문의	미네베아미츠미(주) 홍보/IR실 전화: 03-6758-6703 팩스: 03-6758-6718 이메일:koffice@minebeamitsumicom

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